出来了，然后再去实际生产验证。最终还是要走实际验证这一步的。”

下边的东西纪弘就看的非常明白了，温控未能起效，ai也是尝试了非常多的其他方案，而其他方案所需要的设备和硬件的参数和数据，更是需要实验室的工作人员去补充。

这些参数和数据应该是务必要求精准的，一旦有差，结果可能就会谬以千里了。

“也不尽是如此，”孙博立即又找出了一个案例：“比如这组数据，我们的工作人员在输入的过程中出错了，哪怕几重校验都没发现。

“但是你看，ai推演了几轮，就告警了，它认为这个数据偏离不符合一般分布，直接让我们确认。”

“用的数学分析的方法？”纪弘问道，他知道，数学统计和分析在一定程度上是能够筛出异常数据的。

“是。”孙博又说道：“但是这种计算，我做不到。或者说，我做不到那么快。”

“跟ai比速度，你才叫找虐呢！”纪弘嘀咕了一句，然后继续往后看ai的处理，ai最终敲定的方案是：

引入校准光路，标定以及引导光路搭建与调节。

而这个方案，实施起来非常之简单，只需要在驱动激光的同轴光路上，加入一个单模低功率绿光激光器就可以了。

不仅如此，这个方案还可以同时应用于稳定控制系统的标定。

最终形成了这么一套光束稳定控制系统，完成了相关的方案。

ai是怎么解决光源长期稳定运行这个问题的，纪弘虽然感兴趣，但他更感兴趣的，是这个分支的ai发生的这些个变化以及应用。

根据申再平的工作记录，以及张博按照ai的需求提供的各个零部件的参数以及整理出来的相关资料，依据这次euv光刻机的研发进程，纪弘总结了如下的步骤：

第一步：将duv光刻机的成熟方案当作