院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”
“我们改进了……”麻友公开了个头,突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼。看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以说,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门,但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个。心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司,当然不可能让人敞开了看。
就在这时。光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张200mm直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是!”赵院长哪里会不知道这是怎么回事。光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶。应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机,就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人。除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺,答案就在这