接下来的工作就好做了——什么事儿都不用考虑那么多,认真干活就行。
几个人迅速的换好防护服进入了厂房,这个时候的厂房还不是商业生产的厂房,整条线,光刻机也仅仅只有一台,只是作为验证在使用。
纪弘也是一边了解一边听着刘向东院士的介绍:
“这款光刻机的光源是来自科学院空天信息研究所的钛蓝宝石激光器驱动的极紫外和软x射线高次谐波激光光源……
“该光源系统在30 nm波长附近实现了大于120μw的平均功率……”
“整体大小,桌面大小……”
“……”
纪弘看着眼前的大家伙,也是兴奋异常,听着刘向东院士以及申再平的介绍,他不住的点头,但实际他并没有完全懂。
本身他在这方面就不专业。
但是他想知道的不是这些,而是,ai在这里边究竟做了什么。
“孙博,来,介绍介绍你的成果。”孙博原本是跟在一群人身后的,直接被刘向东院士拽到了前头。
“做的最大工作其实配合组装。”孙博也是对着纪弘笑了笑,他们见过机密那,主要是一直快语有联系,也算熟人:“你们也知道,euv光刻机这个东西,它最大的难处其实不零部件,而是组装。”
孙博介绍着,其实不用孙博介绍,纪弘也知道个大概。
早在好几年前,阿斯麦交付第一台euv光刻机的时候,他就了解过相关的技术,虽然流于表面,但仅仅只是表面的这些数据,就足以说明这个大家伙不好搞——
它足足有几十万个零件,一百多吨!
别说设计和制造了,用阿斯麦的说法,啥都干好,光组装都得组装半年之久!
“所以,我们怎么干的呢?”孙博介绍道:“先说具体情况……”
“这个厂区现在有十几万