到了22nm……”

于东听到22nm的时候，内心还一笑，这也不高嘛。

但是随即反应过来，当即惊呼道：“多少？”

这他么是220nm的光刻机啊，搞我玩儿呢吧，而且这玩意儿用的是i线365nm的光源啊！

华为利用saqp技术实现4倍精度的光刻，这其中有多困难，只有做过才知道。

而且良率从几乎没法看到现在的渐渐提高，也经历了非常漫长的时间——说白了，这玩意是实在没办法了才去搞的。

如果国内有euv，何至于费这么大的劲！

“10倍精度！22nm！”杨工程师确认道。

“你们用的什么方法？”于东没有怀疑杨工骗他，这东西就在这儿，骗他没有任何意义，纪弘想跟他谈什么，也不差这一点筹码。

“最简单的方法。”杨工程师也是认真的回复道：“就是把需要光刻的图分到多个掩膜版上，然后一遍一遍的重复光刻-刻蚀-光刻-刻蚀……就这样。”

“这……”这种方法于东当然知道，就是最原始的方法。

但是精度怎么控制啊？这东西在所有的工艺节点上，量产工艺，就没有做过双重以上的，最多就是双重。

理论倒是非常简单，但做起来那是非常的困难。

不仅是工件台的移动精度问题，有非常多的问题需要解决。

稍微对不准一点，一重一重的累积下来就会是天文数字，最终导致全盘都失败。

换句话说，你动一下都需要保持nm级别的精度，既然有这个技术，直接去改造光刻机都比这个更容易。

“来，看看我们的历程吧。”没等杨工回答，纪弘引着于东来看这几天产线在做什么。

“与传统提升工艺的过程不同，”纪弘介绍道：“类思维ai在这里发挥了巨大的作用。