的。”

王东来说到这里，停顿了一下，脸上露出了一丝笑意。

“对于外人，我没有这个时间去解释，也不想去解释。”

“但是徐叔不是外人，我也明白徐叔是为了我好。”

“所以，我倒是可以和徐叔简单地聊一聊。”

徐松尧的眼睛一亮，顿时来了兴趣。

“徐叔应该知道ssmb的概念吧，ssmb光源最诱人的地方就在于它可以提供各种各样波长的射线，从波长13.5nm的极紫外线，再到5nm波长的软x射线，都能轻轻松松的提供，并且功率最大可以达到4kw，远超cymer公司的锡滴轰击法。”

“不过同样的，ssmb也要进行原理验证试验，完成束流动力学，瓦光源物理设计和等等。”

“这些工作，看上去很简单，但是都需要大量的时间。”

“这要是申请科研经费的话，就是极大的缺陷。”

“但是在银河科技这里，就不是什么问题了。”

“……”

听着王东来的大致解释，徐松尧也有些明白了。

想了一下，就提出了自己的问题。

“东来，光刻机本来的能耗就很大，按照你的设想，直接做成了光刻工厂，那么能耗就更加严重了，这一点，你有没有考虑过？”

王东来轻轻笑了笑，就出声解释道：“徐叔，这一点，我当然明白。”

“光刻机的能耗大，主要是因为它要维持金属蒸汽，产生高能打靶激光，产生的光在蒸汽中被吸收，深紫外线极其容易被物质吸收，光路上被反射膜、透镜和管道吸收等。”

“而变成了光刻工厂的话，就主要集中在电子加速以及磁场维持，以及产生诱导激光和产生的的光在光路上被反射膜、透镜和管道上吸收。”

“这个问题，我通过数学模型模