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第146章 秦光一号(3 / 4)

!”

“秦光一号是由大秦光学完成设计和组装的,国内首台euv光刻机,它的euv光源系统来自常春光所,可实现500w-euv光源的稳定输出,而光学系统,则是由大秦光学负责制造,大家请看大屏幕。”

随着康驰的话音刚落,在内舞台的背景屏幕上,便放出了几名大秦光学的工程师,在无尘车间里一起举着光刻机镜片的照片。

“这就是光刻机的镜片,它的直径高达125mm,镜面粗糙度25pm,面精度仅为1.3nm!”

“最后是光刻机的双件工作台,它是由大唐重工负责研发制造,位移误差是200pm,理论上可以满足2nm芯片制造的要求。”

“同时得益于500w功率的euv光源,这台光刻机的工作效率,达到了每小时180片晶圆的制造速度!”

“经过初期测试,我们目前能做到的最小制程是7nm,不过光刻机其实只是个生产工具,后续随着堆叠工艺的提升,进一步缩小制程也是完全没有问题的。”

听到这里,无论是申城硅产业,还是中芯、立昂微的高层,都忍不住激动地互相对视了一眼,然后各怀心事地继续看着康驰。

康驰刚刚的那番参数介绍,其实就是对他们说的,普通观众估计也听不懂。

到了光刻机的环节,普通观众其实都只是看热闹的了,

不过在看热闹的同时,也能增强一下大家的民族自信心,顺便还能给大秦光学的相机和镜头,打一波价值连城的广告。

至于光刻机真正的目标用户,其实就是坐在第二排的半导体大佬们。

他们才是会为光刻机真正掏钱的人。

而这些大佬们,此时最大的好奇,也是康驰会不会在发布会上,把光刻机的售价也给直接公布了。

【在华统一售价:9.9亿rmb】

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