m（约1微米）直至1nm制程的光源提供。

具体是多少纳米，全看接收光源后面的工艺制程。

最关键的是，它既不像lpp-euv只有500w功率限制，也不像sr-euv无法量产。

至于高耗能……

这在华国，以及卿云的提前规划里，根本不存在这个问题。

ssmb-euv要解决相关的问题达到几个纳米的制程，确实很难，有太多的难点需要攻克。

但duv已经是很成熟的。

而此时，卿云掏出来的，便是ssmb-euv的前代技术，ssmb-duv路径，也就是利用稳态微聚束的约1微米到193nm的波长来进行光刻。

而这种路径下，光刻工厂只要三块反射镜，镜片面积要求也小得多，只要商业化光刻机的十分之一。

本身光源质量上比asml的商业化光刻机强，整机开发难度下降了不少，对镜片的要求自然就降低了，刚好是国产镜片垫垫脚尖就能摸到的位置。

他说到这里的时候，梁猛松都忍不住笑了起来。

之前谁也不知道这光刻工厂这么猛的。

原本，整个国际市场月产能不过1300万片，而一个光刻工厂，是多种制程同时生产的，稳固态光束跑一圈就相当于是几千台光刻机同时开工。

爽是爽了，但产量就太恐怖了。

就算因为当前制程过低的因素而浪费掉75%的光束，那也是上千万片8英寸晶圆片的月产能。

章汝京忍了半天笑，好不容易忍住了，开口问道，

“但……你有没有考虑过，如果章忠谋真的采用国资的资金来入股，你打章忠谋，其实也是在打国资。

你确定……你这么做是没问题的？”

卿云摇了摇头，“老爷子，你看看他之前和华亭谈的模式，他