息,因特尔已经将一批技术转让给了炎黄集团。
而这批技术的最新时间点是1994年的。
按照这个时间线以及瓦森纳协定的精神,1993年问世的0.35微米工艺,我们是完全可以在华国生产,而不用担心阿美莉卡的长臂管辖。”
他顿了顿,眼中闪过一丝精光,“而半年前,华国的技术水平还停留在1984年的1.25微米水平。
我们就算他们能采取跳跃式发展,也不可能在短短一年内完成1微米、0.8微米、0.6微米、0.35微米四代工艺的跨越。
说到这里,他哈哈大笑了起来,“更何况他们还在使用436nm g线光源,而且还是接触式路径。”
江尚义听后也露出了笑容。
这是他们曾经走过的老路,是再熟悉不过的。
接触式路径,掩模直接贴在硅片上进行光刻,不仅容易造成污染,而且掩模的使用寿命也相对较短。
后来的接近式光刻技术对此进行了改进,通过在掩模和硅片之间形成一层薄薄的气垫,使两者不再直接接触,提高了良率也提升了掩膜的寿命,这大大的降低了成本。
但气垫的存在,又会影响成像的精度,所以g线光源的最高制程也只能达到0.35微米工艺。
而g线光源的下一代是波长365nm的i线光源,其最高制程工艺可以达到0.25微米。
再往下发展,就必须采用第三代光源,即波长248nm的krf(氟化氪)准分子激光,它能够实现130nm的制程。
至于第四代光源,则是目前最先进的193nm arf(氟化氩)准分子激光。
按照林本坚的理论,这种光源通过浸入式技术,理论上可以将制程推进到22nm,甚至在孙元成根据david mann公司的重复曝光理论推测,还能更低。