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第二百四十三章 知其然而不知其所以然(4 / 6)

院士!

不过想到这里,陈一权自己都只能苦笑摇头。

特么的,别人不需要……

那边努力维持双眼‘清澈’的云帝点了点头,也没有纠结于张惠国看似有些离谱的回答。

他知道答案。

在当前这个时点,放眼全球,有一个算一个,在这个领域他可以说各位都是渣渣。

三氯氢硅和四氯化硅氢还原反应都是吸热反应,因此升高温度使平衡向吸热一方移动,有利于硅的沉积,也会使硅的结晶性能更好。

但实际生产中反应温度也不能太高,这是因为硅和其它半导体材料的固相沉积一样,存在一个最佳温度。

一旦超过这个温度,随着温度的升高,沉积速度反而下降同时,杂质b、p化合物,随着温度的增高,其还原量也将加大,这将降低多晶硅的质量。

产量、良品率20年内最优解的温度,其实是1137°。

而且他还知道为什么张惠国和汉斯猫的工艺是控制在1100°。

他毕竟是个重生者,心里面其实透亮的。

之所以还原炉的遮热罩材料是石英玻璃,是因为老外试验出来的多晶硅还原炉的工作理想温度范围在1100°c左右。

而随着工艺的提升和纯度的要求,这个最优温度是在慢慢向上走的。

在改良西门子法第一代当时的工艺条件下,也就是上世纪60年代左右的时候,1100°高温下硅和氯化氢的反应生成多晶硅的速率较高。

而当初可用的材料里,石英玻璃刚好能够达到这个参数要求,且能够满足耐腐蚀性。

于是才是石英玻璃,于是才是1100°。

张惠国是完全复刻的第一代改良西门子法,期间有改动,但只是小改动,所以这个温度是适合的。

这就是‘其所以然’。

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