收，对四氯化硅进行氢化以形成闭环生产，其中三氯氢硅在还原炉中的化学气相沉积过程是该工艺的关键工序……”

张惠国一边讲解，一边用手中的激光笔指示着展示板上的工艺流程图。

陈维平、严大洲、阙端麟聆听着，他们都是业内资深的专家，对改良西门子法的优缺点了如指掌。

但此刻也只能乖乖的听着。

没法子，他们目前都只是纸上谈兵，而面前这个老头，才是国内这个领域真正搞出改良西门子法的大拿。

硅烷法制备多晶硅国内第一人，前之江大学硅材料国家实验室主任阙端麟院士服气的点了点头，

“改良西门子法在安全性上远超硅烷法，短期内其生产成本也低于硅烷法。”

众人听后都感慨着改良西门子法在安全性上远超硅烷法，短期内其生产成本也低于硅烷法，但是形成的三废太可惜了。

特别是大量氯硅烷残液难以处理。

陈维平首先发言，他的声音带着一丝沙哑，“张老，改良西门子法的安全性确实值得我们肯定，而且短期内成本控制也做得非常好。”

他顿了顿，语气转为严肃，“不过，三废处理是个大问题，尤其是氯硅烷残液，残液中有大量高沸物和杂质，遇到空气燃烧爆炸。

如果处理不当，不仅会造成环境污染，还可能引发安全事故。”

严大洲和阙端麟也相继表达了自己的看法，他们对炎黄硅业采用的技术路线表示认可，但同时也指出了其中的风险和挑战。

张惠国认真听取了他们的意见和建议，他知道这些专家的意见对新光硅业的发展至关重要。

他是实战派，面前几个专家是理论派，理论要联系实际，而实际也要得到理论的指导。

他点了点头，认可众人的看法，“确实是个大问题，但也要辩证的看，我感觉这是可以